NTTは2026年8月25日、AI(人工知能)と自動化技術を活用し、薄膜成長(成膜)を自律的に最適化するとともに、その過程で得られたデータを人が理解/転用できる成膜ルールに変換する「解釈可能な自律成
NTTが「解釈可能な自律成膜」を実現、成膜/評価サイクルを約3倍に高速化(MONOist)
NTTは2026年8月25日、AI(人工知能)と自動化技術を活用し、薄膜成長(成膜)を自律的に最適化するとともに、その過程で得られたデータを人が理解/転用できる成膜ルールに変換する「解釈可能な自律成